69413
لیتوگرافی - Lithography - -
KAN-2dp
-
ندارد
این دستگاه یکی از کاملترین و پر کاربردتریت دستگاه های فوتولیتوگرافی محسوب می شود که در زمینه های مختلف کاربرد دارد:1- انجام مراحل لیتوگرافی نوردهی به صورت تماسی Proximity Lithography2- انجام مراحل لیتوگرافی نوردهی به صورت پروگزمتی Proximity Lithography3- انجام مراحل انطباق چندین ماسک اپتیکی هم به صورت رو و هم به صورت پشت نمونه ها ( انطباق دوطرفه) Double side aligning (FS and BS mode)4- انجام تمام پروژه های حوزه میکرو و نانو5- انجام پروژه های ساخت سنسورها و ادوات حوزه MEMS6- انجام فرایند های که نیاز به نوردهی و تریتمنت با نور ماورابنفش است7- اجرای فرایند لیتوگرافی برای فتورزیست های مثبت و منفی SU8