90405
لیتوگرافی - Lithography - -
KAN-2d
-
دارد
این دستگاه یکی از کاملترین و پر کاربردتریت دستگاه های فوتولیتوگرافی محسوب می شود که در زمینه های مختلف کاربرد دارد: 1- انجام مراحل لیتوگرافی نوردهی به صورت تماسی Proximity Lithography 2- انجام مراحل انطباق چندین ماسک اپتیکی هم به صورت رو و هم به صورت پشت نمونه ها ( انطباق دوطرفه) Double side aligning (FS and BS mode) 3- انجام تمام پروژه های حوزه میکرو و نانو 4- انجام پروژه های ساخت سنسورها و ادوات حوزه MEMS 5- انجام فرایند های که نیاز به نوردهی و تریتمنت با نور ماورابنفش است 6- اجرای فرایند لیتوگرافی برای فتورزیست های مثبت و منفی SU8 7- نوردهی مستقیم به انواع پلیمرها