69413
لیتوگرافی - Lithography - -
KAN-2dp
ابتدا یا وارد کارتابل خود شده و یا در صورتی که هنوز در سامانه ثبت نام ننموده اید اقدام به ثبت نام کاربری جدید نمایید
سطح دوم
ندارد
این دستگاه یکی از کاملترین و پر کاربردتریت دستگاه های فوتولیتوگرافی محسوب می شود که در زمینه های مختلف کاربرد دارد: 1- انجام مراحل لیتوگرافی نوردهی به صورت تماسی Proximity Lithography 2- انجام مراحل لیتوگرافی نوردهی به صورت پروگزمتی Proximity Lithography 3- انجام مراحل انطباق چندین ماسک اپتیکی هم به صورت رو و هم به صورت پشت نمونه ها ( انطباق دوطرفه) Double side aligning (FS and BS mode) 4- انجام تمام پروژه های حوزه میکرو و نانو 5- انجام پروژه های ساخت سنسورها و ادوات حوزه MEMS 6- انجام فرایند های که نیاز به نوردهی و تریتمنت با نور ماورابنفش است 7- اجرای فرایند لیتوگرافی برای فتورزیست های مثبت و منفی SU8